
全部產(chǎn)品分類
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- 波登管壓力表
- GPD型儀表保護(hù)器
- 臺(tái)式油壓機(jī)
- 退磁、退磁設(shè)備及相關(guān)設(shè)備
產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹:
日本原裝進(jìn)口SIMCO思美高,擴(kuò)展ISO Class 1,10nm棒式離子發(fā)生器AeroBarMP Model 5635
日本原裝進(jìn)口SIMCO思美高,擴(kuò)展ISO Class 1,10nm棒式離子發(fā)生器AeroBarMP Model 5635
詳情介紹:
SIMCO ION 擴(kuò)展ISO Class 1,10nm棒式離子發(fā)生器AeroBarMP Model 5635 的詳細(xì)介紹
SIMCO ION 擴(kuò)展ISO Class 1,10nm棒式離子發(fā)生器AeroBarMP Model 5635
5635型Aerobar MP靜電消除器是一款超低顆粒兼容產(chǎn)品,用于要求精細(xì)顆粒管理小于等于100nm的場(chǎng)所的靜電消除,包括先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝。
特點(diǎn)
規(guī)范
5635型AeroBar MP輸入電壓 | 24 V DC +/- 10% |
---|---|
輸出電壓 | 高達(dá)約13.5kv pp可調(diào) |
安裝距離 | 100毫米至1000毫米(無空氣吹掃) |
離子生成方法 |
電暈放電方式 MP(脈沖調(diào)制)方式調(diào)制頻率1?33Hz |
離子平衡 |
自動(dòng)平衡調(diào)整方法 <+/- 10 V由于位置正下方的位置差異<+/- 10 v (600 mm距離) |
電極 | 單晶硅電極可交換 |
吹掃氣體 | 清潔干燥空氣或N 2 |
*大吹掃壓力 | 310 Kpa |
臭氧量 | <0.05 ppm(24小時(shí)積分值) |
信號(hào)輸出 | 報(bào)警IO開集輸出 |
維 | 高度78毫米x深度34毫米x長(zhǎng)度如下 |
450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350 毫米 |
|
外觀 | ABS樹脂 |
擴(kuò)展ISO Class 1,10 nm?
關(guān)于擴(kuò)展ISO等級(jí)1,10納米?ION Systems專門定義了清潔度的定義,以便應(yīng)對(duì)精細(xì)的顆粒管理。ISO 14644-1定義為*小粒徑為100 nm。擴(kuò)展ISO Class1,10nm并且使用顆粒的計(jì)算公式和ISO14644-1及其允許顆粒的數(shù)目的同一允許數(shù)將是1200pc /立方米(34 PC /立方英尺 ) 至少一個(gè)粒徑10nm的